半导体净化车间设计装修平面布局图

  一、工程概括
半导体净化车间设计范围包括:装修方案(围护、地面防水保温处理),暖通方案(空调设备、风管、水管等),特气供应方案(特气柜含保险控制、房间气体检测、EP级管道及BA及管道。供应气管尾气处理),压缩空气方案,废气处理方案(仪器设备POU处理、房间排风废气处理)电气方案(空调设备动力配电等),弱点工程,集成控制智能平台,纯水方案(冷却水、去离子水、超纯水、水管等),废气处理。

半导体净化车间设计装修

二、结构围护工程
墙板及吊顶:本工程隔墙采用企业口型机制玻镁岩棉夹芯板0.426,玻镁岩棉彩钢板符合洁净厂房二级消防要求,玻镁岩棉彩钢夹芯板具有1000℃的耐火性能,耐火等级达到A级。岩棉密度:≥100kg/m3;导热系数:≤0.046w/m.k;燃烧性能:A级(不燃)。耐火极限为30-120分钟。广泛应用于食品、电子、医药、饮料、生物研究等行业。
地板:本宫车间内地面采用防静电型PVC地板,其中千级和百级车间采用防静电型加高钢板,其它为普通型PVC地板。PVC地板是当今世界上非常流行的一种新型轻体地面装饰材料,也称为“轻体地材”使用非常广泛。
三、暖通工程
设备:空调制冷负荷:经统计计算,总冷负荷约500kw。采用恒温恒湿洁净空调,夏季采用磁悬浮水冷机组,冬季采用厂区锅炉热水供热。
风管:风管采用共板法兰风管。
水管:空调水管采用无缝钢管。水泵采用星 三角降压启动。
四、特种气体工程
工艺气体种类多,纯度高,并且易燃易爆有毒。安全问题突出,为保证系统的安全和稳定可靠,建议采用进口成熟产品。
英文mocvd生长使用的源是易燃、易爆、毒性很大的物质,并且要生长多组分,大面积,薄层和超薄层异质材料,因此在mocvd系统的设计思想上,通常要考虑系统密封性要好,流量、温度控制要精确,组分变换要迅速,系统要紧凑等。核心工作是气体输运系统和尾气处理系统。
五、空压机工程
螺杆式空压机组主要有以下系统组成:空气流程系统,润滑油流程系统、冷却系统、安全保护系统、控制系统及电气线路。螺杆式空压机组要压缩机、电动机、空气滤清器、进气阀、油气桶、空气冷却器、润滑油冷却器压力开关、单向阀、储气罐、压力表、自动排水器、安全阀等设备部件。另外在空压机系统中大多配置冷干机和空气干燥器。
六。废气工程
由于半导体工艺对操作是清洁要求极高,通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气,因此半导体行业废气排放有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。表中给出了不同生产工艺排放的废气组成。这些废气排放主要可以分为四类:酸性气体、碱性气体、有机废气和有毒气体。

生产废气排放源及组成表

对酸性气体、碱性气体的处理一般采用湿式洗涤塔技术。
对于有机废气采用吸附、焚烧或两者相结合的处理方法。因为半导体工艺工程中有机废气具有排放流量大(通常大于11039m3/小时)和浓度低(通常小于25ppmv)的特点,使用其他的处理技术难以达到令人满意的处理效率。沸石浓度缩转轮后再吸附或焚烧。

七、电气工程
空调动力电工程;统计总用量电量约830kw,空调用电约330kw。
动力(镀锌线槽)沿墙体及天花敷设,再分支车间及设备电箱,安装在楼板下。主电缆采用YJV型号。
八、弱点系统工程
1、高清视频监控 系统采用1200w网络监控摄像机,通过千兆交换组网在机房中心进行集中存储,系统设计7*24小时间断运行,实现1080p存储1个月以上,管理人员可通过电脑进行监控查看,录像回放等操作。
2、门禁管理系统 门禁系统已成为安防系统极其重要的组成部分,门禁系统将监控被动防范的方式进行了主动防范补充。通过网络一体式门禁管理机,配合门禁专用电源。电磁锁可将主要出入口设置为授权式管理,避免了与车架无关人员的频繁出入。
九、只能平台
洁净系统中的风量控制采用文丘李阀门,实时监控流量计状态,可在先诊断。并可以维持房间压力、温度、湿度的平稳可靠。中控室中把空调、特气、纯水、监控、房间温湿度等参数集成管理、显示、储存,并对数据进行打印输出及溯源查找。并经设备输出在参观通道播放,方便参观。
十、纯水工程
1、设备产水能力:
2、RO系统:一级RO反渗透产水量≥8m3/h(水温保证在25℃时);
二级RO反渗透产水量≥6m3/h(水温保证在25℃时);
3、EDI系统:EDI产量水量≥5m3/h(水温在25℃时)
4、终端抛光混床产水能力为:≥5m3/h(水温保证在25℃时)
5、设备产水水质指标:
终端抛光混床产水能力为:≥18.00MΩ.com(水温保证在25℃时,测点在抛光混床出口3米内,95%时间)
其他技术指标参照我国的电子级水电技术指标(GB11446.1-1977)EW-1

由于设备用水的级别各不相同,可以在本设计流程中的某段引出合适的使用点即可。对于超纯水必须采用UPVC材质(因金属管道会析出离子),特别对于园晶的生产,超纯水会对额定的离子限值严格,所以采用进口的UPVC纯水管道对产品质量有保证。
十一。废气处理工程

半导体制造及封装测试的各个工艺步骤都有大量的废水产生,主要以酸碱废水、含氟废水、有机废水为主。